产品用途
MX-8半导体检测显微镜采用无限远色差校正光学系统，具有大视野、成像质量高、功能扩展性强(明场/斜照明/偏振光/DIC观察)、大平台等特点；同时配有长工作距半复消色差物镜和可快速和慢速移动的大行程载物台，最大支持8寸晶圆及液晶面板的检查，含4、6、8英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查、液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验。
产品特点
Ø 多档分光比观察头设计：采用宽光束成像系统设计，最大观察视野，支持25-26.6mm，带给你全新的大视野体验。正像，保证样品的移动方向与您通过目镜观察到的方向一致，是操作更加得心应手。
Ø 安全、稳重的机架结构设计: 工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热
Ø 长工作距金相物镜：配置全套专业半复消色差金相物镜，采用高透过率镜片和先进的镀膜技术，使整个视场内的成像清晰锐利，色彩自然，明亮舒适。长工作距设计，可有效避免用户在切换时物镜与样品发生碰撞。50X物镜的有效工作距离7.9mm，100X物镜的有效工作距离也达到了2.1mm，更有20X超长工作距金相物镜，大幅拓展了MX机型的应用领域。同步设计了全套明暗场两用物镜，暗场照明亮度比传统暗场物镜提高2倍以上。
Ø 高性能物镜转换器: MX8转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据需求可配置不同孔位的转换器
产品规格
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规格参数
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MX-8
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光路系统
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无限远色差校正光学系统
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●
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观察方式
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明场/暗场/偏光/DIC观察模式(选配)
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○
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观察头
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铰链三通观察筒，30°倾斜；瞳距范围：50mm～76mm
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●
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正像,视度调节±5°；两档分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目镜
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高眼点大视野平场目镜WF10X(Φ25mm)可带十字分划板
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●
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无限远长工作距明暗场半复消色差金相DIC物镜
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倍率
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数值孔径(N.A.)
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工作距离(W.D.)
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●
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5×-DIC
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0.15
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13.5mm
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10×-DIC
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0.3
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9.00mm
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20×-DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(选配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍数
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50×-500×
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●
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物镜转轮(DIC)
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内定位5孔明暗场转换器(带DIC插槽)
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●
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载物台
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右手位 8英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节
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●
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平台面积525mmX330mm，移动范围：210mmX210mm；带离合器手柄，可用于全行程范围内的快速移动
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玻璃载物台板
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调焦机构
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反射式机架：前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，带光亮度设定按钮与复位按钮
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉观察组件(选配)
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○
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简易偏光装置
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φ30起偏镜插板（反射用）、360度旋转式检偏镜插板（反射用）
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●
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明暗场装置
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带明暗场观察切换装置与明暗场照明切换装置
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●
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反射照明系统
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柯拉照明系统，带视场光阑与孔径光阑，中心可调
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●
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带斜射照明装置(选配)
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100-240V宽电压,12V/100W卤素灯，明暗场反射照明器
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数码成像系统
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高质量0.5X CCD适配镜
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●
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Puda2000万制冷型进口芯片数字显微镜摄像机(芯片型号：Sony IMX183 芯片大小：1”（13.056 * 8.755 mm）像素大小：2.4 * 2.4 µm最大分辨率：2000万像素帧速：5fps@5440 * 3648 10fps@4096 * 2160 15fps@2736*1824 曝光时间：0.06ms-1hG光灵敏度：462mv with 1/30s/ USB3.0高速通讯，高分辨率、精准的色彩还原处理/ Ultra-Fine颜色引擎，确保颜色精准再现/双级半导体深度制冷系统，低于环境温度50度以下，精准可控))
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专业的图像分析软件（专业的图像软件(图像采集/影像输入/相机控制/视频操作/图像处理/图像测量/图像融合(景深扩展)/图像拼接/清晰度对焦因子/动态图像灰度值定标(可保证拍摄图像明暗程度的一致性和连贯性) /插件功能)）
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可升级配件
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目镜：10×(分划)
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○
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注解：●为标配、○为可升级配件
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样品实图示例：
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